拋光墊

微信圖片_20220808110840
聚氨酯拋光墊
聚氨酯拋光墊是耐用性能較高的拋光墊,聚氨酯預聚物、硬化劑和發(fā)泡劑按混合后,注入定型容器中做成塊狀,然后通過(guò)切片機加工成最終片狀拋光墊。

通常被使用于要求高平坦性的拋光工序。

應用領(lǐng)域:
LCD用玻璃基板,玻璃圓盤(pán),光學(xué)鏡片等材料CMP。

定制服務(wù):
硬度、尺寸、溝槽等可按需求定制。

聚氨酯拋光墊


型號

密度g/cm3

壓縮率%

壓縮彈性率%

硬度邵氏A

填料

性能特點(diǎn)

應用

PU-77

0.42

2

85

78A

氧化鈰

韌性好,耐磨

蓋板玻璃、LCD基板

PU-80

0.49

1.5

90

81A

氧化鈰

硬度稍高,平面度好

玻璃、精密光學(xué)

PU-85

0.55

1.2

87

86A

氧化鋯

切削力強,針對硬性材質(zhì)

透鏡,石英玻璃

PU-40D

0.5

1.2

75

40D

NA

耐強堿,拋光速率高

藍寶石窗口片

PU-70D

1.1

1

85

70D

NA

超硬材質(zhì),搭配鉆石液

陶瓷、金屬研磨減薄

微信圖片_20220808110850
無(wú)紡布拋光墊
無(wú)紡布拋光墊是一款毛氈狀的拋光墊,能磨出一定程度的平坦性和平滑性,性能處于聚氨酯拋光墊和阻尼布拋光墊的中間位置。

通常被使用于粗磨或中磨。

應用領(lǐng)域:
半導體晶圓,藍寶石,光學(xué)鏡片,金屬等材料CMP。

定制服務(wù):
硬度、尺寸、溝槽等可按需求定制。
無(wú)紡布拋光墊

型號

密度g/cm3

壓縮率%

壓縮彈性率%

硬度邵氏A

性能特點(diǎn)

應用

NW-70

0.36

4-5

90

72A

耐磨不拉絲,壽命長(cháng)

金屬、不銹鋼精拋

NW-75

0.37

4-5

80

76A

軟性材質(zhì),貼合性好

藍寶石襯底搭配氧化硅

NW-80

0.37

3-4

80

80A

搭配氧化硅,表面質(zhì)量高

硅片、砷化鎵襯底

NW-90

0.45

2-3

70

90A

搭配氧化鋁,拋光速率高

藍寶石、碳化硅襯底


微信圖片_20220808110857
阻尼布拋光墊
阻尼布拋光墊是一種絲絨狀的拋光材料,質(zhì)地細膩、表面柔軟、且布滿(mǎn)小孔,使用時(shí)能很好地容納拋光液,提高切削力的同時(shí)能避免劃傷工件。

通常被使用于高平滑性,低欠陷性的精磨工序。

應用領(lǐng)域:
半導體晶圓,LED玻璃主板,藍寶石玻璃、金屬等的精拋。

定制服務(wù):
硬度、尺寸、溝槽等可按需求定制。



阻尼布拋光墊

型號

密度g/cm3

壓縮率%

壓縮彈性率%

硬度邵氏A

性能特點(diǎn)

應用

DPP-70

0.55

4-5

75

72A

PET基材,高平整度

不銹鋼精拋

DPN-55

0.34

7-8

80

56A

無(wú)紡布基材,通用型

光學(xué),LCD精拋

DPN-60

0.34

7-8

70

60A

長(cháng)絨毛拋光層

半導體襯底精拋

DPN-65

0.46

3-4

85

67A

高硬度絨毛

藍玻璃精拋